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影響凈化棚氣流的因素
凈化棚
是能快速組建的簡易潔凈室,其具有安裝快速、施工周期短、價格低廉、移動方便等特點,把主要生產工序控制在較小的環境內也是潔凈室設計的*佳選擇。
影響凈化棚的氣流因素很多,如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時對于生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。
銅鋁操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從制程區內部流向作業區,而將微塵帶走;若分流點配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部份的氣流將流至制程區之后,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。
凈化棚室內的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現象發生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現象減少*低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
風機從FFU頂部將空氣吸入,經初效過濾器,高效過濾器過濾,過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速勻速送出到凈化棚內。形成均流層,使潔凈空氣氣流呈垂直單向流,從而保證了工作區內所要求的潔凈度。
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